實際生產中微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響◕•▩·•，而且表面三維評定引數由於能更全面╃◕◕│、更真實地反映零件表面的特徵及衡量表面的質量而越來越受到重視◕•▩·•，因此行動式三維形貌儀的測量就越顯重要│·│。透過對三維形貌的測量可以比較全面地評定表面質量的優劣◕•▩·•，進而確認加工方法的好壞及設計要求的合理性◕•▩·•，這樣就可以反過來透過指導加工╃◕◕│、最佳化加工工藝以加工出高質量的表面◕•▩·•，確保零件使用功能的實現│·│。
行動式三維形貌儀是利用光學干涉原理研製開發的超精密表面輪廓測量儀器│·│。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光◕•▩·•，分別投射到樣品表面和參考鏡表面│·│。從兩個表面反射的兩束光再次透過分光鏡後合成一束光◕•▩·•，並由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像│·│。由於兩束光相互干涉◕•▩·•，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋│·│。干涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差◕•▩·•，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度│·│。
目前◕•▩·•，行動式三維形貌儀適用於各種產品╃◕◕│、部件和材料表面的平面度╃◕◕│、粗糙度╃◕◕│、波紋度╃◕◕│、面形輪廓╃◕◕│、表面缺陷╃◕◕│、磨損情況╃◕◕│、腐蝕情況╃◕◕│、孔隙間隙╃◕◕│、臺階高度╃◕◕│、彎曲變形情況╃◕◕│、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析│·│。多項式配置╃◕◕│、資料配置╃◕◕│、掃描╃◕◕│、遮蔽和插值◕•▩·•，互動縮放◕•▩·•，X-Y和線段剖面◕•▩·•，三維線路╃◕◕│、混合和固定繪圖◕•▩·•，用於階越高度測量的地區差異繪圖│·│。
它的功能✘•◕╃│：
這些模型具有相當廣泛的用途◕•▩·•，舉凡工業設計╃◕◕│、瑕疵檢測╃◕◕│、逆向工程╃◕◕│、機器人導引╃◕◕│、地貌測量╃◕◕│、醫學資訊╃◕◕│、生物資訊╃◕◕│、刑事鑑定╃◕◕│、數字文物典藏╃◕◕│、電影製片╃◕◕│、遊戲創作素材等等都可見其應用│·│。行動式三維形貌儀的製作並非仰賴單一技術◕•▩·•，各種不同的重建技術都有其優缺點◕•▩·•，成本與售價也有高低之分│·│。目前並無一體通用之重建技術◕•▩·•，儀器與方法往往受限於物體的表面特性│·│。例如光學技術不易處理閃亮╃◕◕│、鏡面或半透明的表面◕•▩·•，而鐳射技術不適用於脆弱或易變質的表面│·│。
描儀功能✘•◕╃│：行動式三維形貌儀的用途是建立物體幾何表面的點雲◕•▩·•，這些點可用來插補成物體的表面形狀◕•▩·•，越密集的點雲可以建立更精確的模型│·│。若掃描器能夠取得表面顏色◕•▩·•，則可進一步在重建的表面上貼上材質貼圖◕•▩·•，亦即所謂的材質印射│·│。
